Understanding the role of energetic particles during the growth of TiO2 thin films by reactive magnetron sputtering through multi-scale Monte Carlo simulations and experimental deposition

Résultats de recherche

• Probing the physics of magnetron sputtering for thin-film deposition by Virtual Coater: application to TiO2

  Tonneau, R. (Auteur), Lucas, S. (Promoteur), Pflug, A. (Copromoteur), Henrard, L. (Président), Moskovkin, P. (Jury), De Bosscher, W. (Jury), Konstantinidis, S. (Jury) & Von Keudell, A. (Jury), 18 janv. 2021

  Student thesis: Doc types › Docteur en Sciences

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