Pulsed reactive sputtering of chromium nitride from 12.5 to 87.5 % of duty cycle, at 62.5 to 5000Hz

Haye, E. (Orateur), Lucas, S. (Orateur), Pireaux, J. (Orateur)

Activité: Types de discours ou de présentationPrésentation orale

Période4 déc. 2017 - 6 déc. 2017
Conservé à16th International Conference on Reactive Sputter Deposition
Type d'événementUne conférence
LieuPlzen, République tchèque