Evolution of nanoripples on silicon by gas cluster-ion irradiation

Omar Lozano Garcia, Q. Y. Chen, B. P. Tilakaratne, H. W. Seo, X. M. Wang, P. V. Wadekar, P. V. Chinta, L. W. Tu, N. J. Ho, D. Wijesundera, W. K. Chu

    Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

    Empreinte digitale

    Examiner les sujets de recherche de « Evolution of nanoripples on silicon by gas cluster-ion irradiation ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

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