Blocking germanium diffusion inside silicon dioxide using a co-implanted silicon barrier

D. Barba, C. Wang, A. Nélis, G. Terwagne, F. Rosei

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « Blocking germanium diffusion inside silicon dioxide using a co-implanted silicon barrier ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

Physique & Astronomie