Achieving on chip micro-supercapacitors based on CrN deposited by bipolar magnetron sputtering at glancing angle

Emile Haye, Amine Achour, Abdelouadoud Guerra, Fatsah Moulaï, Toufik Hadjersi, Rabah Boukherroub, Adriano Panepinto, Thierry Brousse, Jean Jacques Pireaux, Stephane Lucas

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Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « Achieving on chip micro-supercapacitors based on CrN deposited by bipolar magnetron sputtering at glancing angle ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

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Keyphrases

Material Science

Chemical Engineering

Engineering