TEM Characterization of polysilicon and silicide fin fabrication processes of FinFETs

J. Ratajczak, A. Laszcz, A. Czerwinski, J. Katcki, Xiaohui Tang, Nicolas Reckinger, D.A. Yarekha, G. Larrieu, E. Dubois

Résultats de recherche: Contribution à un événement scientifique (non publié)Résumé

langue originaleAnglais
Etat de la publicationPublié - 2009
Evénement3rd National Conference on Nanotechnology - Warsaw, Pologne
Durée: 22 juin 200926 juin 2009

Comité scientifique

Comité scientifique3rd National Conference on Nanotechnology
PaysPologne
La villeWarsaw
période22/06/0926/06/09

Contient cette citation

Ratajczak, J., Laszcz, A., Czerwinski, A., Katcki, J., Tang, X., Reckinger, N., Yarekha, D. A., Larrieu, G., & Dubois, E. (2009). TEM Characterization of polysilicon and silicide fin fabrication processes of FinFETs. Résumé de 3rd National Conference on Nanotechnology, Warsaw, Pologne.