TEM Characterization of polysilicon and silicide fin fabrication processes of FinFETs

J. Ratajczak; A. Laszcz; A. Czerwinski; J. Katcki; Xiaohui Tang; Nicolas Reckinger; D.A. Yarekha; G. Larrieu; E. Dubois

TEM Characterization of polysilicon and silicide fin fabrication processes of FinFETs

J. Ratajczak, A. Laszcz, A. Czerwinski, J. Katcki, Xiaohui Tang, Nicolas Reckinger, D.A. Yarekha, G. Larrieu, E. Dubois

Résultats de recherche: Contribution à un événement scientifique (non publié) › Résumé › Revue par des pairs

langue originale	Anglais
Etat de la publication	Publié - 2009
Evénement	3rd National Conference on Nanotechnology - Warsaw, Pologne Durée: 22 juin 2009 → 26 juin 2009

Comité scientifique

Comité scientifique	3rd National Conference on Nanotechnology
Pays/Territoire	Pologne
La ville	Warsaw
période	22/06/09 → 26/06/09

Contient cette citation

@conference{6afb754c29ae4ca6bfb2e16dea342c01,

title = "TEM Characterization of polysilicon and silicide fin fabrication processes of FinFETs",

author = "J. Ratajczak and A. Laszcz and A. Czerwinski and J. Katcki and Xiaohui Tang and Nicolas Reckinger and D.A. Yarekha and G. Larrieu and E. Dubois",

year = "2009",

language = "English",

note = "3rd National Conference on Nanotechnology ; Conference date: 22-06-2009 Through 26-06-2009",

}

TY - CONF

T1 - TEM Characterization of polysilicon and silicide fin fabrication processes of FinFETs

AU - Ratajczak, J.

AU - Laszcz, A.

AU - Czerwinski, A.

AU - Katcki, J.

AU - Tang, Xiaohui

AU - Reckinger, Nicolas

AU - Yarekha, D.A.

AU - Larrieu, G.

AU - Dubois, E.

PY - 2009

Y1 - 2009

M3 - Abstract

T2 - 3rd National Conference on Nanotechnology

Y2 - 22 June 2009 through 26 June 2009

ER -