Kinetics of RPECVD organosilicon polymer post-treatment in a N /O microwave plasma remote afterglow

Sami Abou Rich, V. Mille, C. Vivien, S. Godey, P. Supiot

    Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revue › Article › Revue par des pairs

    Empreinte digitale

    Examiner les sujets de recherche de « Kinetics of RPECVD organosilicon polymer post-treatment in a N /O microwave plasma remote afterglow ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

    Biochemistry, Genetics and Molecular Biology

    Material Science

    Physics

    Chemistry