An integrated UHV system for the preparation and characterization of thin metallic, semiconducting, and insulating films or compounds

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticle

langue originaleAnglais
Pages (de - à)1208-1209
Nombre de pages2
journalJournal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
Volume2
Etat de la publicationPublié - 1984

Contient cette citation