Caractérisation de couches ultra-minces d'oxydes à haute constante diélectrique

Projet: Recherche

Description

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L'acronymeCUHKO
statutFini
Les dates de début/date réelle1/01/0231/12/04

mots-clés

  • XPS
  • isolant diélectrique
  • oxyde
  • couches ultra-minces
  • TOF-SIMS
  • isolant dielectrique