Caractérisation de couches ultra-minces d'oxydes à haute constante diélectrique

Projet: Recherche

Détails du projet

Description

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AcronymeCUHKO
statutFini
Les dates de début/date réelle1/01/0231/12/04

mots-clés

  • XPS
  • isolant diélectrique
  • oxyde
  • couches ultra-minces
  • TOF-SIMS
  • isolant dielectrique

Empreinte digitale

Explorez les thèmes de recherche abordés par ce projet. Ces libellés sont générés sur la base des prix/subventions sous-jacents. Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.