Description
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| L'acronyme | CUHKO |
|---|---|
| statut | Fini |
| Les dates de début/date réelle | 1/01/02 → 31/12/04 |
mots-clés
- XPS
- isolant diélectrique
- oxyde
- couches ultra-minces
- TOF-SIMS
- isolant dielectrique
Caractérisation de couches ultra-minces d'oxydes à haute constante diélectrique
- Pireaux, Jean-Jacques (Responsable du Projet)
- Houssiau, Laurent (Co-investigateur)
- Vitchev, Roumen (Chercheur)
Projet: Recherche