Workshop on physical characterisation of high-k dielectrics

Activité: Participation ou organisation d'un événementParticipation à une conférence, un congrès

Description

Characterisation of high-k dielectrics with ToF-SIMS, communication orale. Co-auteur : T. Conard.
Période17 déc. 2003
Type d'événementColloque
LieuImec, Louvain, BelgiqueAfficher sur la carte