International Conference on Reactive Sputter Deposition RSD 2019

Fauroux, A. (Poster)

Activité: Types de Participation ou d'organisation d'un événementParticipation à une conférence, un congrès

Description

Poster presentation "Joint experimental and theoretical study of the reactive magnetron PECVD of DLC films in an acetylene admixture."
Période5 déc. 20196 déc. 2019
Type d'événementUne conférence
Niveau de reconnaissanceInternational

mots-clés

  • magnetron
  • PECVD
  • PIC-MC
  • DLC
  • a-C:H
  • Simulation
  • C2H2