International Conference on Reactive Sputter Deposition RSD 2019

Activité: Participation ou organisation d'un événement › Participation à une conférence, un congrès

Description

Poster presentation "Joint experimental and theoretical study of the reactive magnetron PECVD of DLC films in an acetylene admixture."
Période5 déc. 2019 → 6 déc. 2019
Type d'événementUne conférence
Niveau de reconnaissanceInternational

mots-clés

  • magnetron
  • PECVD
  • PIC-MC
  • DLC
  • a-C:H
  • Simulation
  • C2H2

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