Synthèse et caractérisation de revêtements a-C:H réalisés par pulvérisation cathodique magnétron réactive en vue d'applications tribologiques

  • Damien Dumont

    Student thesis: Master typesMaster en sciences physiques

    Résumé

    Les dépôts de carbone amorphe possèdent une large gamme d'applications dans le domaine des couches protectrices. Ce travail a pour but la réalisation et l'étude de couches a-C:H (carbone amorphe hydrogéné) sur substrat de cuivre. La synthèse s'effectuera par pulvérisation cathodique magnétron réactive, avec un plasma comportant 10% d'acétylène et 90% d'argon. Le premier objectif est d'obtenir des couches dures set déformables applicables comme couches protectrices sur coussinets. Le second objectif est l'étude de l'influence de la polarisation du substrat sur les propriétés mécaniques et morphologiques afin de vérifier le modèle de sub-plantation de J. Robertson prédisant l'évolution de la dureté avec l'énergie moyenne des espèces ionisées frappant le dépôt pendant la synthèse.
    la date de réponse2010
    langue originaleFrançais
    SuperviseurStephane Lucas (Promoteur), Julien Colaux (Copromoteur), Grégory Fonder (Jury) & Pierre Louette (Jury)

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