Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron

  • Marco Jacobs

Thèse de l'étudiant: Doc typesDocteur en Sciences

Résumé

Date de réussite1998
langueFrançais
SuperviseurFranz Bodart (Promoteur), Guy Demortier (Jury), Stéphane Lucas (Jury), Robert Sporken (Jury) & M. Benmalek (Jury)

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Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron
Jacobs, M. (Auteur). 1998

Thèse de l'étudiant: Doc typesDocteur en Sciences