Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron

  • Marco Jacobs

    Student thesis: Doc typesDocteur en Sciences

    Résumé

    la date de réponse1998
    langue originaleFrançais
    SuperviseurFranz BODART (Promoteur), Guy Demortier (Jury), Stephane Lucas (Jury), ROBERT SPORKEN (Jury) & M. Benmalek (Jury)

    Contient cette citation

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