Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron

  • Marco Jacobs

Thèse de l'étudiant: Doc typesDocteur en Sciences

Résumé

Date de réussite1998
langueFrançais
SuperviseurFranz BODART (Promoteur), Guy Demortier (Jury), STEPHANE LUCAS (Jury), ROBERT SPORKEN (Jury) & M. Benmalek (Jury)

Contient cette citation

Caractérisation de couches minces de type Sialon obtenues par implantation ionique de films Si(x)Al(y) synthétisés par pulvérisation cathodique magnétron
Jacobs, M. (Auteur). 1998

Thèse de l'étudiant: Doc typesDocteur en Sciences