Application des méthodes physique d'analyse à l'optimisation du processus de dépôt de couches minces TiN par la technique pulvérisation cathodique réactive magnétron en courant continu

  • Philippe Roquiny

    Student thesis: Master typesMaster en sciences physiques

    Résumé

    la date de réponse1994
    langue originaleFrançais
    SuperviseurFranz BODART (Promoteur) & Guy Terwagne (Jury)

    Contient cette citation

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