Application des méthodes physique d'analyse à l'optimisation du processus de dépôt de couches minces TiN par la technique pulvérisation cathodique réactive magnétron en courant continu

  • Philippe Roquiny

Thèse de l'étudiant: Master typesMaster en sciences physiques

Résumé

Date de réussite1994
langueFrançais
SuperviseurFranz Bodart (Promoteur) & Guy Terwagne (Jury)

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Application des méthodes physique d'analyse à l'optimisation du processus de dépôt de couches minces TiN par la technique pulvérisation cathodique réactive magnétron en courant continu
Roquiny, P. (Auteur). 1994

Thèse de l'étudiant: Master typesMaster en sciences physiques