la date de réponse | 1994 |
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langue originale | Français |
Superviseur | Franz BODART (Promoteur) & Guy Terwagne (Jury) |
Application des méthodes physique d'analyse à l'optimisation du processus de dépôt de couches minces TiN par la technique pulvérisation cathodique réactive magnétron en courant continu
Student thesis: Master types › Master en sciences physiques