| langue originale | Anglais |
|---|---|
| titre | Analysis of Microelectronic Materials and Devices |
| rédacteurs en chef | M. Grasserbauer, H.W. Werner |
| Lieu de publication | Chichester New york |
| Editeur | John Wiley & Sons |
| Etat de la publication | Publié - 1991 |
X-ray photoelectron spectroscopy
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