When magnetron sputtering deposition meets machine learning: Application to process anomaly detection

Valentin Delchevalerie, Nicolas De Moor, Louis Rassinfosse, Emile Haye, Benoît Frénay, Stéphane Lucas

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Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « When magnetron sputtering deposition meets machine learning: Application to process anomaly detection ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

INIS

Chemical Engineering

Keyphrases

Material Science