Using ammonia for reactive magnetron sputtering, a possible alternative to HiPIMS?

Louis Rassinfosse, Julien L. Colaux, David Pilloud, Alexandre Nominé, Nikolay Tumanov, Stéphane Lucas, Jean Jacques Pireaux, Emile Haye

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « Using ammonia for reactive magnetron sputtering, a possible alternative to HiPIMS? ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

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