Use of reactive sputtering model to predict working point conditions of two different TiN sputtering devices

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « Use of reactive sputtering model to predict working point conditions of two different TiN sputtering devices ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

Ingénierie et Science des Matériaux

composés chimiques

Physique & Astronomie