Understanding the role of energetic particles during the growth of TiO2 thin films by reactive magnetron sputtering through multi-scale Monte Carlo simulations and experimental deposition

Romain Tonneau, Pavel Moskovkin, Jerome Muller, Emile Haye, Stephanos Konstantinidis, Andreas Pflug (Promoteur), Stephane Lucas (Promoteur)

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

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    CÉCI – Consortium des Équipements de Calcul Intensif

    CHAMPAGNE, B. (Responsable du Projet), Lazzaroni, R. (Responsable du Projet), Geuzaine , C. (Co-investigateur), Chatelain, P. (Co-investigateur) & Knaepen, B. (Co-investigateur)

    1/01/1831/12/22

    Projet: Recherche