Unbalanced magnetron sputtered Si-Al coatings: plasma conditions and film properties versus sample bias voltage

Marco Jacobs, Guy Terwagne, Philippe Roquiny, Franz Bodart

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    langue originaleAnglais
    Pages (de - à)735-741
    Nombre de pages7
    journalSurface and Coatings Technology
    Volume116-119
    Etat de la publicationPublié - 1999

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