Transmission electron microscopy study of erbium silicide formation from Ti/Er stack for Schottky contact applications

J. Ratajczak, A. Laszcz, A. Czerwinski, J. Katcki, F. Phillipp, P. A. Van Aken, Nicolas Reckinger, E. Dubois

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langue originaleAnglais
titre13th Conference on Electron Microscopy of Solids
Etat de la publicationPublié - 2009

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Ratajczak, J., Laszcz, A., Czerwinski, A., Katcki, J., Phillipp, F., Van Aken, P. A., Reckinger, N., & Dubois, E. (2009). Transmission electron microscopy study of erbium silicide formation from Ti/Er stack for Schottky contact applications. Dans 13th Conference on Electron Microscopy of Solids