Titanium oxynitride thin films sputter deposited by the reactive gas pulsing process

J.-M. Chappé, N. Martin, J. Lintymer, F. Sthal, G. Terwagne, J. Takadoum

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- Titre(par ordre décroissant)

Synthèse, Irradiation et Analyse de Matériaux (SIAM) (2016 - ...)
Pierre Louette (!!Manager), Julien Colaux (!!Manager), Alexandre Felten (!!Manager), Tijani Tabarrant (!!Operator), Frederic COME (!!Operator) & Paul-Louis Debarsy (!!Manager)
Plateforme technologique Synthese, irradiation et analyse des materiaux
Equipement/installations: Plateforme technolgique