Projets par an
Résumé
reactions are taken into account in order to get the proper content of the reactive species in the volume. Angular and energy distributions of particles are extracted from DSMC and used for film growth modelling by kMC.
Along with the simulation, experimental deposition of TiOx coatings on silicon samples placed at different positions on a curved sample holder was performed. The experimental results are in agreement with the simulated ones. For a given coater, the plasma phase hysteresis behaviour, film composition and film morphology are predicted. The used methodology can be applied to any coater and any films. This paves the way to the elaboration of a virtual coater allowing a user to predict composition and morphology of films deposited in silico.
langue originale | Anglais |
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Numéro d'article | 195202 |
Nombre de pages | 19 |
journal | Journal of Physics D: Applied Physics |
Volume | 51 |
Numéro de publication | 19 |
Les DOIs | |
Etat de la publication | Publié - 20 avr. 2018 |
Empreinte digitale
Examiner les sujets de recherche de « TiOx deposited by magnetron sputtering: a joint modelling and experimental study ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.Projets
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CÉCI – Consortium des Équipements de Calcul Intensif
Champagne, B., Lazzaroni, R., Geuzaine , C., Chatelain, P. & Knaepen, B.
1/01/18 → 31/12/22
Projet: Recherche
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CAPRICe: Assistance numérique pour l'optimisation de revêtements minces fonctionnels
1/07/13 → 30/06/15
Projet: Recherche
Équipement
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Plateforme Technologique Calcul Intensif
Benoît Champagne (!!Manager)
Plateforme technologique Calcul intensifEquipement/installations: Plateforme technolgique
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Synthèse, Irradiation et Analyse de Matériaux (SIAM) (2016 - ...)
Pierre Louette (!!Manager), Julien Colaux (!!Manager), Alexandre Felten (!!Manager), Tijani Tabarrant (!!Operator), Frederic COME (!!Operator) & Paul-Louis Debarsy (!!Manager)
Plateforme technologique Synthese, irradiation et analyse des materiauxEquipement/installations: Plateforme technolgique
Thèses de l'étudiant
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Probing the physics of magnetron sputtering for thin-film deposition by Virtual Coater: application to TiO2
Auteur: Tonneau, R., 18 janv. 2021Superviseur: Lucas, S. (Promoteur), Pflug, A. (Personne externe) (Copromoteur), Henrard, L. (Président), Moskovkin, P. (Jury), De Bosscher, W. (Personne externe) (Jury), Konstantinidis, S. (Personne externe) (Jury) & von Keudell, A. (Personne externe) (Jury)
Student thesis: Doc types › Docteur en Sciences
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