langue originale | Anglais |
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Pages (de - à) | 2336-2340 |
Nombre de pages | 5 |
journal | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena |
Volume | 17 |
Numéro de publication | 5 |
Etat de la publication | Publié - 1999 |
Surface characterization of a low dielectric constant polymer-SiLK* polymer, and investigation of its interface with Cu
Aparna Rajagopal, Chantal Grégoire, Jean-Jacques Lemaire, Jean-Jacques Pireaux, Mikhail Baklanov, Serge Vanhaelemeersch, Karen Maex, Joost Waeterloos
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