Surface characterization of a low dielectric constant polymer-SiLK* polymer, and investigation of its interface with Cu

Aparna Rajagopal, Chantal Grégoire, Jean-Jacques Lemaire, Jean-Jacques Pireaux, Mikhail Baklanov, Serge Vanhaelemeersch, Karen Maex, Joost Waeterloos

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticle

langue originaleAnglais
Pages (de - à)2336-2340
Nombre de pages5
journalJournal of vacuum science and technology. B
Volume17
Numéro de publication5
Etat de la publicationPublié - 1999

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