Self-aligned single-electron memory fabrication based on Si/SiGe/Si heterostructures

X. Tang, F. Ravaux, E. Dubois, E. Kasper, A. Karmous, Nicolas Reckinger, J.-P. Raskin

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langue originaleAnglais
titre35th International Conference on Micro & Nano Engineering
Etat de la publicationPublié - 2009

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Tang, X., Ravaux, F., Dubois, E., Kasper, E., Karmous, A., Reckinger, N., & Raskin, J-P. (2009). Self-aligned single-electron memory fabrication based on Si/SiGe/Si heterostructures. Dans 35th International Conference on Micro & Nano Engineering