Physical characterization of mixed HfAlOx layers by complementary analysis techniques

H. Bender, Th. Conard, O. Richard, B. Brijs, J. Pétry, W. Vandervorst, C. Defranoux, P. Boher, N. Rochat, C. Wyon, P. Mack, J. Wolstenholme, R. Vitchev, L. Houssiau, J.-J. Pireaux, A. Bergmaier, G. Dollinger

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Résumé

The combined information of complementary physical analysis techniques is applied to obtain a full characterisation of the important material parameters of new high-k layers, i.e. the layer thickness, density, composition and interlayer thickness and nature, and to optimise the measurement methodologies of the different techniques.
langue originaleAnglais
Pages (de - à)60-63
Nombre de pages4
journalMaterials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology
Volume109
Numéro de publication1-3
Les DOIs
Etat de la publicationPublié - 15 juin 2004

Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « Physical characterization of mixed HfAlOx layers by complementary analysis techniques ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

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