On the formation of the porous structure in nanostructured a-Si coatings deposited by dc magnetron sputtering at oblique angles

V. Godinho, P. Moskovkin, R. Álvarez, J. Caballero-Hernández, R. Schierholz, B. Bera, J. Demarche, A. Palmero, A. Fernández, S. Lucas

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