On the formation of the porous structure in nanostructured a-Si coatings deposited by dc magnetron sputtering at oblique angles

V. Godinho, P. Moskovkin, R. Álvarez, J. Caballero-Hernández, R. Schierholz, B. Bera, J. Demarche, A. Palmero, A. Fernández, S. Lucas

    Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticle

    Empreinte digitale Examiner les sujets de recherche de « On the formation of the porous structure in nanostructured a-Si coatings deposited by dc magnetron sputtering at oblique angles ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

    composés chimiques

    Ingénierie et Science des Matériaux