On the formation of the porous structure in nanostructured a-Si coatings deposited by dc magnetron sputtering at oblique angles

V. Godinho, P. Moskovkin, R. Álvarez, J. Caballero-Hernández, R. Schierholz, B. Bera, J. Demarche, A. Palmero, A. Fernández, S. Lucas

    Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

    Empreinte digitale

    Examiner les sujets de recherche de « On the formation of the porous structure in nanostructured a-Si coatings deposited by dc magnetron sputtering at oblique angles ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

    Physics

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    Chemistry