Metal filling by high power impulse magnetron sputtering

Lukas Jablonka, Pavel Moskovkin, Zhen Zhang, Shi Li Zhang, Stéphane Lucas, Tomas Kubart

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « Metal filling by high power impulse magnetron sputtering ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

Physique & Astronomie

Ingénierie et Science des Matériaux

composés chimiques