Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble)

Julien Demarche, Guy Terwagne

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langue originaleFrançais
titre4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces
Sous-titreActes des Journées
Lieu de publicationParis
EditeurSociété Française du Vide
Pages87-91
Nombre de pages5
étatPublié - 2006

Contient cette citation

Demarche, J., & Terwagne, G. (2006). Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). Dans 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées (p. 87-91). Paris: Société Française du Vide.