Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble)

Julien Demarche; Guy Terwagne

Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble)

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langue originale	Français
titre	4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces
Sous-titre	Actes des Journées
Lieu de publication	Paris
Editeur	Société Française du Vide
Pages	87-91
Nombre de pages	5
Etat de la publication	Publié - 2006

Synthèse, Irradiation et Analyse de Matériaux (SIAM) (2016 - ...)
Louette, P. (!!Manager), Colaux, J. (!!Manager), Felten, A. (!!Manager), Tabarrant, T. (!!Operator), COME, F. (!!Operator) & Debarsy, P.-L. (!!Manager)
Plateforme technologique Synthese, irradiation et analyse des materiaux
Equipement/installations: Plateforme technolgique

Contient cette citation

Demarche, J., & Terwagne, G. (2006). Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). Dans 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées (p. 87-91). Société Française du Vide.

Demarche, Julien ; Terwagne, Guy. / Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées. Paris : Société Française du Vide, 2006. p. 87-91

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Demarche, J & Terwagne, G 2006, Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). Dans 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées. Société Française du Vide, Paris, p. 87-91.

Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). / Demarche, Julien; Terwagne, Guy.
4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées. Paris: Société Française du Vide, 2006. p. 87-91.

Résultats de recherche: Contribution dans un livre/un catalogue/un rapport/dans les actes d'une conférence › Article dans les actes d'une conférence/un colloque

TY - GEN

T1 - Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble)

AU - Demarche, Julien

AU - Terwagne, Guy

PY - 2006

Y1 - 2006

M3 - Article dans les actes d'une conférence/un colloque

SP - 87

EP - 91

BT - 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces

PB - Société Française du Vide

CY - Paris

ER -

Demarche J, Terwagne G. Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble). Dans 4e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arcs pour le Dépôt de Couches Minces: Actes des Journées. Paris: Société Française du Vide. 2006. p. 87-91

Mesure de la section efficace de diffusion élastique de particules alpha par l'oxygène et application à l'analyse quantitative et en profondeur de l'oxygène dans les couches minces, in proceedings of Magnétron 2006 (Grenoble)

Équipement

Synthèse, Irradiation et Analyse de Matériaux (SIAM) (2016 - ...)

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