Ion-induced densification of PVD films - a choice of the optimum density of ion bombardement

G.I. Grigorov, K.G. Grigorov, Robert Sporken, Roland Caudano

    Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

    langue originaleAnglais
    Pages (de - à)399-401
    journalAppl. Phys. A
    Volume63
    Etat de la publicationPublié - 1996

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