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In Plasma ion beam analysis of polymer layer and adsorbed H monolayer etching

  • Louis Charles Fortier
  • , Martin Chicoine
  • , Simon Chouteau
  • , Mathilde Clausse
  • , Émile Lalande
  • , Alexandre W. Lussier
  • , Sjoerd Roorda
  • , Luc Stafford
  • , Guy Terwagne
  • , François Schiettekatte

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