Experimental and theoretical study of a magnetron DC-PECVD acetylene discharge: Determination of the main species and reactions taking place in the plasma

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

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    FEDER-FMF-3D-COATER: 3D-COATER

    Lucas, S.

    1/11/1531/12/20

    Projet: Recherche