Evolution of the properties of reactively sputtered zirconium nitrides on silicon substrates

P. VANDEN BRANDE, Stephane Lucas, R. WINAND, L. RENARD, A. WEYMEERSCH

Résultats de recherche: Contribution dans un livre/un catalogue/un rapport/dans les actes d'une conférenceArticle dans les actes d'une conférence/un colloque

langue originaleAnglais
titreMater. Res. Soc. Symp. Proc.
Pages759-764
Nombre de pages6
Volume343
étatPublié - 1994

Contient cette citation

VANDEN BRANDE, P., Lucas, S., WINAND, R., RENARD, L., & WEYMEERSCH, A. (1994). Evolution of the properties of reactively sputtered zirconium nitrides on silicon substrates. Dans Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (Vol 343, p. 759-764)