Evolution of the properties of reactively sputtered zirconium nitrides on silicon substrates

P. VANDEN BRANDE; Stephane Lucas; R. WINAND; L. RENARD; A. WEYMEERSCH

Evolution of the properties of reactively sputtered zirconium nitrides on silicon substrates

P. VANDEN BRANDE, Stephane Lucas, R. WINAND, L. RENARD, A. WEYMEERSCH

Namur Research Institute for Life Sciences

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langue originale	Anglais
titre	Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
Pages	759-764
Nombre de pages	6
Volume	343
Etat de la publication	Publié - 1994

Contient cette citation

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Evolution of the properties of reactively sputtered zirconium nitrides on silicon substrates. / VANDEN BRANDE, P.; Lucas, Stephane; WINAND, R. et al.
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.. Vol 343 1994. p. 759-764.

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