Epitaxial growth of aluminum nitride layers on Si(111) at high temperature and for different thicknesses

Frédéric Malengreau, Marc Vermeersch, Serge Hagège, Robert Sporken, Michael Lange, Roland Caudano

    Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticle

    langue originaleAnglais
    Pages (de - à)175-188
    Nombre de pages14
    journalJournal of materials research
    Volume12
    Numéro de publication1
    Etat de la publicationPublié - 1997

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