Effect of electric charge accumulation on low energy ion implantation in insulators

Mourad Yedji, Guy Ross

    Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticle

    langue originaleAnglais
    Pages (de - à)386-390
    Nombre de pages5
    journalNuclear instruments and methods in physics research B
    Volume230
    Etat de la publicationPublié - 2005

    Contient cette citation