DFT Modeling of Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition for Si(110) Passivation: Formation of Boehmite-Like Chains as γ-Al2O3 Precursors

Andrey A. Rybakov, Alexander V. Larin, Daniel P. Vercauteren, Georgy M. Zhidomirov

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

Filtrer
Actif

Résultats de recherche