DFT Modeling of Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition for Si(110) Passivation: Formation of Boehmite-Like Chains as γ-Al2O3 Precursors

Andrey A. Rybakov, Alexander V. Larin, Daniel P. Vercauteren, Georgy M. Zhidomirov

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    PAI n°P7/05 - FS2: Systèmes supramoléculaires fonctionnels (PAI P7/05)

    CHAMPAGNE, B., De Vos, D., Van der Auweraer, M., Jérôme, C., Lazzaroni, R., Marin, G., Jonas, A., Du Prez, F., Vanderzande, D., Van Tendeloo, G., Van Speybroeck, V., NENON, S. & STAELENS, N.

    1/04/1230/09/17

    Projet: Recherche