Characterization of a pulsed low pressure argon discharge in a cylindrical magnetron reactor by plasma diagnostic and 3D plasma modeling

Stella Mathioudaki, Cédric Vandenabeele, Romain Tonneau, Andreas Pflug, Stéphane Lucas

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

Empreinte digitale

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Ingénierie et Science des Matériaux

Physique & Astronomie

composés chimiques