Characterization of a pulsed low pressure argon discharge in a cylindrical magnetron reactor by plasma diagnostic and 3D plasma modeling

Stella Mathioudaki, Cédric Vandenabeele, Romain Tonneau, Andreas Pflug, Stéphane Lucas

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticleRevue par des pairs

Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « Characterization of a pulsed low pressure argon discharge in a cylindrical magnetron reactor by plasma diagnostic and 3D plasma modeling ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

Chemistry

Physics