An investigation of the plasma composition in plasma-enhanced hot filament catalytic chemical vapor deposition of carbon nanotubes

Michal Gulas, Costel-Sorin COJOCARU, Francois LE NORMAND, Samir FARHAT

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticle

langue originaleAnglais
Pages (de - à)123-146
Nombre de pages24
journalPlasma Chemistry and Plasma Proccesing
Volume28
Etat de la publicationPublié - 2008

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