Advanced characterization of high-k materials: a nuclear approach

B. Brijs, C. Huyghebaert, S. Nauwelaerts, M. Caymax, W. Vandervorst, K. Nakajima, K. Kimura, A. Bergamier, G. Döllinger, W.N. Lennard, Guy Terwagne, A. Vantomme

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    langue originaleAnglais
    Pages (de - à)505-509
    Nombre de pages5
    journalNuclear instruments and methods in physics research
    Volume190
    Etat de la publicationPublié - 2002

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