Caractérisation vibrationnelle de galettes de Si implantées à l'hydrogène pour la production de substrats SOI (Silicon on Insulator) par le procédé Smartcut®

Projet: Recherche

Détails du projet

Description

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statutFini
Les dates de début/date réelle1/01/9731/12/02

mots-clés

  • hydrogene
  • implantation
  • spectroscopie infrarouge
  • microélectronique
  • interfaces
  • silicium
  • procédé Smart Cut
  • procede Smart Cut
  • microelectronique

Empreinte digitale

Explorez les thèmes de recherche abordés par ce projet. Ces libellés sont générés sur la base des prix/subventions sous-jacents. Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.