Détails du projet
Description
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| statut | Fini |
|---|---|
| Les dates de début/date réelle | 1/01/97 → 31/12/02 |
mots-clés
- hydrogene
- implantation
- spectroscopie infrarouge
- microélectronique
- interfaces
- silicium
- procédé Smart Cut
- procede Smart Cut
- microelectronique
Empreinte digitale
Explorez les thèmes de recherche abordés par ce projet. Ces libellés sont générés sur la base des prix/subventions sous-jacents. Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.