Détails du projet
Description
{description_courte}
statut | Fini |
---|---|
Les dates de début/date réelle | 1/01/97 → 31/12/02 |
mots-clés
- hydrogene
- implantation
- spectroscopie infrarouge
- microélectronique
- interfaces
- silicium
- procédé Smart Cut
- procede Smart Cut
- microelectronique