Etude et mise au point d'une couche de lithium par sputter-evaporation sur différents substrats pour la BNCT

Les paramètres du plasma de lithium (puissance, température, tension,...)
optimisant le dépôt par sputter-evaporation sont étudiés, afin d'obtenir une
couche uniforme avec une vitesse de dépôt de l'ordre de 200nm à la seconde.
Cette couche de lithium étant destiné à la BNCT l'étude de sa qualité sera
faite par réaction nucléaire. Cette analyse permet de vérifier la
concentration de la couche en profondeur et d'étudier les éventuels effets de
la diffusion vers les substrats et les couches de protections. Etant destinée
à la BNCT (Boron Neutron Capture Therapy) , la couche de Lithium et son
adhésion aux substrats sont étudiées sous faisceau de proton.