Analyse structurale et quantitative de films nitrurés réalisés par pulvérisation cathodique sur substrats d'aciers

Projet: Projet de thèse

Détails du projet

Description

L'étude présente concerne la réalisation de couches minces, environ 4000Å, par plasma en atmosphère réactive, ainsi que leur analyse au moyen de réactions nucléaires, de la spectroscopie Mössbauer et de diffraction de rayons X. Les dépôts sont réalisés par pulvérisation d'une cible d'acier inoxydable en présence d'azote, pour un flux d'azote variant entre 0 et 10 sccm et tel que le flux gazeux total soit constant (20 sccm) dans l'enceinte de dépôts.

Une étude de composition réalisée au moyen de rétrodiffusion de Rutherford, de PIXE (techniques sensibles aux éléments lourds) et de réactions nucléaires sur l'azote montre que la concentration en azote admise dans les couches augmente avec le flux de gaz réactif jusqu'à saturation obtenue pour un pourcentage atomique de 50 % environ.

Les analyses structurales sont réalisées au moyen de spectroscopie Mössbauer par conversion interne d'électrons et par diffraction de rayons X en incidence rasante. L'étude structurale montre une expansion nette du réseau pour un flux d'azote croissant. Cette expansion est attribuée à l'accumulation d'atomes d'azote dans les sites interstitiels du réseau.
La présence d'une phase connue dans la littérature sous le nom de phase-S, basée sur un alliage d'acier inoxydable de type austénite et d'azote est mise en évidence. Cette phase est très intéressante dans le monde industriel car elle semble permettre l'amélioration de la résistance à l'usure de l'acier sans compromettre ses propriétés anti-corrosives
statutFini
Les dates de début/date réelle30/09/9930/09/03

mots-clés

  • corrosion
  • RNRA.
  • acier
  • DC magnetron sputtering
  • azote
  • CEMS
  • GXRD
  • RBS
  • NRA
  • usure