Caractérisation de couches d'oxynitrures de chrome déposées sur acier par plasma réactif : influence de la concentration en vapeur d'eau du plasma

Projet: Projet de thèse

Détails du projet

Description

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statutFini
Les dates de début/date réelle31/08/9829/06/02

mots-clés

  • oxynitrure
  • acier
  • plasma reactif
  • plasma réactif
  • magnétron
  • air.
  • magnetron
  • chrome