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2022
Influence of oxygen co-implantation on germanium out-diffusion and nanoclustering in SiO2/Si films
Nelis, A., Haye, E. & Terwagne, G. (Promoteur), 9 févr. 2022, Dans: Thin Solid Films. 746, 139135, 139135.Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revue › Article › Revue par des pairs
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