Caractérisation de couches par faisceaux d'ions

Projet: Recherche

Détails du projet

Description

{description_courte}
statutEn cours d'exécution
Les dates de début/date réelle1/09/84 → …

mots-clés

  • films minces
  • surfaces
  • analyse nucleaire
  • analyse nucléaire
  • implantations