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Résultat de recherche 2015 2019

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Article
2019
Plasma diagnostics
plasma diagnostics
Argon
Electron temperature
low pressure
2018

TiOx deposited by magnetron sputtering: a joint modelling and experimental study

Tonneau, R., Moskovkin, P., Pflug, A. & Lucas, S., 20 avr. 2018, Dans : Journal of Physics D: Applied Physics. 51, 19, 19 p., 195202.

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticle

Magnetron sputtering
magnetron sputtering
Film growth
simulation
Sputter deposition
2015
11 Downloads (Pure)
collimators
Transmission electron microscopy
Glass
Particle beams
Alpha particles