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Résultat de recherche 2015 2019

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2019
Plasma diagnostics
plasma diagnostics
Argon
Electron temperature
low pressure
2018
21 Downloads (Pure)

Simulations of oxide films growth deposited by magnetron sputtering and evaluation of their morphology and optical properties

Tonneau, R., Moskovkin, P. & Lucas, S., 2018, (Non publié). 1 p.

Résultats de recherche: Contribution à un événement scientifique (non publié)Poster

File
oxide films
magnetron sputtering
optical properties
evaluation
vacuum deposition

TiOx deposited by magnetron sputtering: a joint modelling and experimental study

Tonneau, R., Moskovkin, P., Pflug, A. & Lucas, S., 20 avr. 2018, Dans : Journal of Physics D: Applied Physics. 51, 19, 19 p., 195202.

Résultats de recherche: Contribution à un journal/une revueArticle

Magnetron sputtering
magnetron sputtering
Film growth
simulation
Sputter deposition
2015
11 Downloads (Pure)
collimators
Transmission electron microscopy
Glass
Particle beams
Alpha particles