Multiscale simulation of TiAlN film growth in an industrial magnetron based reactor

Activité: Types de discours ou de présentationPrésentation orale

Période8 avr. 2021
Titre de l'événementPlasma Tech 2021: Plasma Processing and Technology International Conference
Type d'événementUne conférence
LieuParis, France
Niveau de reconnaissanceInternational