Multiscale simulation of TiAlN film growth in an industrial magnetron based reactor

Activité: Discours ou présentation Présentation orale

Période8 avr. 2021
Titre de l'événementPlasma Tech 2021: Plasma Processing and Technology International Conference
Type d'événementUne conférence
EmplacementParis, FranceAfficher sur la carte
Degré de reconnaissanceInternational